Зуфаров, Вадим Марсельевич. Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния [Электронный ресурс]: бакалаврская работа / В. М. Зуфаров; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Физической электроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,77 МБ). — Санкт-Петербург, 2015. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/6912.pdf>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2015
|
Quarter 3
|
7
|
0
|
6
|
0
|
13
|
|
Quarter 4
|
30
|
0
|
31
|
0
|
61
|
|
Year 2016
|
Quarter 1
|
17
|
0
|
15
|
0
|
32
|
|
Quarter 2
|
8
|
0
|
12
|
0
|
20
|
|
Quarter 3
|
8
|
0
|
6
|
0
|
14
|
|
Quarter 4
|
9
|
0
|
12
|
0
|
21
|
|
Year 2017
|
Quarter 1
|
5
|
0
|
14
|
0
|
19
|
|
Quarter 2
|
3
|
0
|
93
|
0
|
96
|
|
Quarter 3
|
11
|
0
|
108
|
0
|
119
|
|
Quarter 4
|
8
|
0
|
134
|
0
|
142
|
|
Year 2018
|
Quarter 1
|
4
|
0
|
105
|
0
|
109
|
|
Quarter 2
|
12
|
0
|
135
|
0
|
147
|
|
Quarter 3
|
13
|
0
|
224
|
0
|
237
|
|
Quarter 4
|
5
|
0
|
102
|
0
|
107
|
|
Year 2019
|
Quarter 1
|
7
|
0
|
96
|
0
|
103
|
|
Quarter 2
|
4
|
0
|
160
|
0
|
164
|
|
Quarter 3
|
3
|
0
|
90
|
0
|
93
|
|
Quarter 4
|
0
|
0
|
144
|
0
|
144
|
|
Year 2020
|
Quarter 1
|
7
|
0
|
61
|
0
|
68
|
|
Quarter 2
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Quarter 3
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Quarter 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Total
|
166
|
0
|
1,548
|
0
|
1,714
|
