Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
Учебное пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разряженных газов, теоретическим основам откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения и расчета вакуумных систем, особенностям использования техники получения вакуума в процессах производства микро- и наноэлектроники. Данное пособие является междисциплинарным и предназначено для студентов высших учебных заведений, специализирующихся по направлениям 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 16.03.01 «Техническая физика», для студентов магистратуры и аспирантов, слушающих курсы в области физики низкоразмерных твердотельных структур, вакуумной техники и наноэлектроники и ведущих исследования в соответствующей области.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все | |||||
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ | |||||
Интернет | Анонимные пользователи |
Статистика использования
Количество обращений: 440
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |