Детальная информация

Название: Вакуумная техника для производства микро- и наноэлектроники: учебное пособие
Авторы: Мишин Максим Валерьевич; Архипов Александр Викторович; Габдуллин Павел Гарифович; Квашенкина Ольга Евгеньевна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019
Коллекция: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Тематика: Вакуумная техника; Микроэлектроника; Наноструктурные материалы; наноэлектроника; учебники и пособия для вузов
УДК: 621.52(075.8)
Тип документа: Учебное издание
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Ссылки: http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/i19-225
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Учебное пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разряженных газов, теоретическим основам откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения и расчета вакуумных систем, особенностям использования техники получения вакуума в процессах производства микро- и наноэлектроники. Данное пособие является междисциплинарным и предназначено для студентов высших учебных заведений, специализирующихся по направлениям 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 16.03.01 «Техническая физика», для студентов магистратуры и аспирантов, слушающих курсы в области физики низкоразмерных твердотельных структур, вакуумной техники и наноэлектроники и ведущих исследования в соответствующей области.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать
Интернет Читатели ИБК Прочитать Печать
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 10
За последние 30 дней: 3
Подробная статистика