|
Title
|
Влияние условий роста на свойства эпитаксиальных слоев AlN, выращенных на подложках SiC методом хлоридно-гидридной эпитаксии // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – 2002. – Радиофизический факультет. — Ч.8
|
|
Creators
|
Ледяев О.Ю.
;
Сидоров В.Г.
;
Николаев А.Е.
|
|
Other creators
|
Глухов Владимир Викторович
|
|
Organization
|
Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург)
;
Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
|
|
Imprint
|
Санкт-Петербург, 2003
|
|
Collection
|
Общая коллекция
|
|
Subjects
|
нитриды III-группы
;
AlN/SiC-подложки
;
эпитаксиальные слои
|
|
UDC
|
537.311.322
|
|
Document type
|
Article, report
|
|
File type
|
PDF
|
|
Language
|
Russian
|
|
Rights
|
Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
|
|
Record key
|
RU\SPSTU\edoc\3095
|
| Record create date |
6/24/2003 |
