Детальная информация
Название | Влияние условий роста на свойства эпитаксиальных слоев AlN, выращенных на подложках SiC методом хлоридно-гидридной эпитаксии // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – 2002. – Радиофизический факультет. — Ч.8 |
---|---|
Авторы | Ледяев О.Ю. ; Сидоров В.Г. ; Николаев А.Е. |
Другие авторы | Глухов Владимир Викторович |
Организация | Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург) ; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2003 |
Коллекция | Общая коллекция |
Тематика | нитриды III-группы ; AlN/SiC-подложки ; эпитаксиальные слои |
УДК | 537.311.322 |
Тип документа | Статья, доклад |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\3095 |
Дата создания записи | 24.06.2003 |
Количество обращений: 1020
За последние 30 дней: 13