Влияние условий роста на свойства эпитаксиальных слоев AlN, выращенных на подложках SiC методом хлоридно-гидридной эпитаксии

Ледяев, О.Ю.; Сидоров, В.Г.; Николаев, А.Е.

Детальная информация

Название	Влияние условий роста на свойства эпитаксиальных слоев AlN, выращенных на подложках SiC методом хлоридно-гидридной эпитаксии // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – 2002. – Радиофизический факультет. — Ч.8
Авторы	Ледяев О.Ю. ; Сидоров В.Г. ; Николаев А.Е.
Другие авторы	Глухов Владимир Викторович
Организация	Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург) ; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
Выходные сведения	Санкт-Петербург, 2003
Коллекция	Общая коллекция
Тематика	нитриды III-группы ; AlN/SiC-подложки ; эпитаксиальные слои
УДК	537.311.322
Тип документа	Статья, доклад
Тип файла	PDF
Язык	Русский
Права доступа	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи	RU\SPSTU\edoc\3095
Дата создания записи	24.06.2003

Разрешенные действия

Прочитать Загрузить (113 Кб)

Группа	Анонимные пользователи
Сеть	Интернет

Место доступа	Группа пользователей	Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ	Все
Интернет	Все

Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург). Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года [Электронный ресурс] / Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. — Санкт-Петербург, 2002. — Электрон. версия печ. публикации 2002. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0.

Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург). Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года [Электронный ресурс] / Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. — Санкт-Петербург, 2002. Радиофизический факультет [Электронный ресурс]. — Ч.8. — Электрон. текстовые дан. (75 файл: 9,12 МБ), 2002. — Электрон. версия печ. публикации 2002. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовые файлы. — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/447.pdf>.

Количество обращений: 1121
За последние 30 дней: 26

Подробная статистика