Ледяев, О.Ю. Влияние условий роста на свойства эпитаксиальных слоев AlN, выращенных на подложках SiC методом хлоридно-гидридной эпитаксии [Электронный ресурс] / О.Ю. Ледяев, В.Г. Сидоров, А.Е. Николаев. — (Секция "Физика полупроводников и наноэлектроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл :113 Кб) // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года [Электронный ресурс] / Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. – Санкт-Петербург. – 2002. – Радиофизический факультет [Электронный ресурс]. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/001520.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2012
|
Квартал 1
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Квартал 2
|
4
|
0
|
3
|
0
|
7
|
|
Квартал 3
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Квартал 4
|
7
|
0
|
6
|
0
|
13
|
|
Год 2013
|
Квартал 1
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Квартал 2
|
10
|
0
|
3
|
0
|
13
|
|
Квартал 3
|
15
|
0
|
7
|
0
|
22
|
|
Квартал 4
|
14
|
0
|
5
|
0
|
19
|
|
Год 2014
|
Квартал 1
|
21
|
0
|
10
|
0
|
31
|
|
Квартал 2
|
26
|
0
|
6
|
0
|
32
|
|
Квартал 3
|
15
|
0
|
5
|
0
|
20
|
|
Квартал 4
|
15
|
0
|
5
|
0
|
20
|
|
Год 2015
|
Квартал 1
|
12
|
0
|
5
|
0
|
17
|
|
Квартал 2
|
27
|
0
|
20
|
0
|
47
|
|
Квартал 3
|
14
|
0
|
16
|
0
|
30
|
|
Квартал 4
|
16
|
0
|
10
|
0
|
26
|
|
Год 2016
|
Квартал 1
|
23
|
0
|
8
|
0
|
31
|
|
Квартал 2
|
9
|
0
|
7
|
0
|
16
|
|
Квартал 3
|
13
|
0
|
4
|
0
|
17
|
|
Квартал 4
|
12
|
0
|
9
|
0
|
21
|
|
Год 2017
|
Квартал 1
|
8
|
0
|
3
|
0
|
11
|
|
Квартал 2
|
3
|
0
|
10
|
0
|
13
|
|
Квартал 3
|
6
|
0
|
7
|
0
|
13
|
|
Квартал 4
|
11
|
0
|
13
|
0
|
24
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
6
|
0
|
8
|
0
|
14
|
|
Квартал 2
|
4
|
0
|
21
|
0
|
25
|
|
Квартал 3
|
4
|
0
|
24
|
0
|
28
|
|
Квартал 4
|
8
|
0
|
7
|
0
|
15
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
3
|
0
|
26
|
0
|
29
|
|
Квартал 2
|
4
|
0
|
13
|
0
|
17
|
|
Квартал 3
|
1
|
0
|
5
|
0
|
6
|
|
Квартал 4
|
3
|
0
|
3
|
0
|
6
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
2
|
0
|
14
|
0
|
16
|
|
Квартал 2
|
6
|
0
|
0
|
0
|
6
|
|
Квартал 3
|
9
|
0
|
0
|
0
|
9
|
|
Квартал 4
|
9
|
0
|
10
|
0
|
19
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
11
|
0
|
9
|
0
|
20
|
|
Квартал 2
|
8
|
0
|
9
|
0
|
17
|
|
Квартал 3
|
5
|
0
|
6
|
0
|
11
|
|
Квартал 4
|
4
|
0
|
7
|
0
|
11
|
|
Всего
|
376
|
0
|
332
|
0
|
708
|
