Ледяев, О.Ю. Влияние условий роста на свойства эпитаксиальных слоев AlN, выращенных на подложках SiC методом хлоридно-гидридной эпитаксии [Электронный ресурс] / О.Ю. Ледяев, В.Г. Сидоров, А.Е. Николаев. — (Секция "Физика полупроводников и наноэлектроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл :113 Кб) // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года [Электронный ресурс] / Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. – Санкт-Петербург. – 2002. – Радиофизический факультет [Электронный ресурс]. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/001520.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2012
|
Квартал 1
|
Март
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Август
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Ноябрь
|
5
|
0
|
4
|
0
|
9
|
|
Декабрь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Год 2013
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Май
|
4
|
0
|
0
|
0
|
4
|
|
Июнь
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
8
|
0
|
5
|
0
|
13
|
|
Август
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Ноябрь
|
5
|
0
|
1
|
0
|
6
|
|
Декабрь
|
7
|
0
|
3
|
0
|
10
|
|
Год 2014
|
Квартал 1
|
Январь
|
8
|
0
|
2
|
0
|
10
|
|
Февраль
|
5
|
0
|
5
|
0
|
10
|
|
Март
|
8
|
0
|
3
|
0
|
11
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
8
|
0
|
1
|
0
|
9
|
|
Май
|
11
|
0
|
5
|
0
|
16
|
|
Июнь
|
7
|
0
|
0
|
0
|
7
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
7
|
0
|
4
|
0
|
11
|
|
Август
|
4
|
0
|
0
|
0
|
4
|
|
Сентябрь
|
4
|
0
|
1
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Ноябрь
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Декабрь
|
6
|
0
|
1
|
0
|
7
|
|
Год 2015
|
Квартал 1
|
Январь
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Март
|
4
|
0
|
3
|
0
|
7
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
8
|
0
|
1
|
0
|
9
|
|
Май
|
10
|
0
|
9
|
0
|
19
|
|
Июнь
|
9
|
0
|
10
|
0
|
19
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
7
|
0
|
5
|
0
|
12
|
|
Август
|
1
|
0
|
6
|
0
|
7
|
|
Сентябрь
|
6
|
0
|
5
|
0
|
11
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
5
|
0
|
4
|
0
|
9
|
|
Ноябрь
|
8
|
0
|
5
|
0
|
13
|
|
Декабрь
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Год 2016
|
Квартал 1
|
Январь
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Февраль
|
8
|
0
|
4
|
0
|
12
|
|
Март
|
11
|
0
|
2
|
0
|
13
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
5
|
0
|
8
|
|
Май
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Июнь
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
5
|
0
|
0
|
0
|
5
|
|
Август
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Сентябрь
|
6
|
0
|
1
|
0
|
7
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
7
|
0
|
4
|
0
|
11
|
|
Ноябрь
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Год 2017
|
Квартал 1
|
Январь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
6
|
0
|
3
|
0
|
9
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
3
|
0
|
4
|
|
Май
|
0
|
0
|
5
|
0
|
5
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
3
|
0
|
3
|
0
|
6
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
3
|
0
|
4
|
0
|
7
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Ноябрь
|
4
|
0
|
5
|
0
|
9
|
|
Декабрь
|
5
|
0
|
4
|
0
|
9
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Февраль
|
4
|
0
|
3
|
0
|
7
|
|
Март
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
6
|
0
|
6
|
|
Май
|
1
|
0
|
8
|
0
|
9
|
|
Июнь
|
3
|
0
|
7
|
0
|
10
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Август
|
0
|
0
|
12
|
0
|
12
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
10
|
0
|
12
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
3
|
0
|
3
|
0
|
6
|
|
Ноябрь
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Декабрь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
Январь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
3
|
0
|
4
|
|
Март
|
0
|
0
|
19
|
0
|
19
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
9
|
0
|
9
|
|
Май
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
5
|
0
|
6
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Ноябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Декабрь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
3
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
4
|
0
|
4
|
|
Март
|
2
|
0
|
7
|
0
|
9
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Май
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Август
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Сентябрь
|
5
|
0
|
0
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
5
|
0
|
1
|
0
|
6
|
|
Ноябрь
|
3
|
0
|
6
|
0
|
9
|
|
Декабрь
|
1
|
0
|
3
|
0
|
4
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
Январь
|
5
|
0
|
6
|
0
|
11
|
|
Февраль
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Март
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Май
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Июнь
|
4
|
0
|
5
|
0
|
9
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Август
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Ноябрь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Всего
|
375
|
0
|
331
|
0
|
706
|
