Горелов, В.А. Проблема фоторезиста для нанолитографии [Электронный ресурс] / В.А. Горелов, Р.П. Сейсян. — (Секция "Твердотельная электроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 77,6 Кб) // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Совет по научно-исследовательской работе студентов; [под общ. ред. А. И. Рудского, В. В. Глухова]. – СПб. – 2006. – Ч.4 : Физико-механический факультет. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/007013.pdf>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Вчера | 0 | 0 | 2 | 0 | 2 |
| Последние 30 дней | 8 | 0 | 9 | 0 | 17 |
| Последние 365 дней | 109 | 0 | 79 | 0 | 188 |
| За все время | 491 | 0 | 436 | 0 | 927 |