Горелов, В.А. Проблема фоторезиста для нанолитографии [Электронный ресурс] / В.А. Горелов, Р.П. Сейсян. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 77,6 Кб) // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Совет по научно-исследовательской работе студентов; [под общ. ред. А. И. Рудского, В. В. Глухова]. – СПб., 2006 Физико-механический факультет; Физико-технический факультет; Факультет медицинской физики и биоинженерии. — (Секция "Твердотельная электроника"). — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/007013.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2012
|
Квартал 1
|
Март
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Май
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Август
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Год 2013
|
Квартал 1
|
Январь
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
4
|
0
|
1
|
0
|
5
|
|
Май
|
5
|
0
|
1
|
0
|
6
|
|
Июнь
|
4
|
0
|
0
|
0
|
4
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Август
|
8
|
0
|
3
|
0
|
11
|
|
Сентябрь
|
5
|
0
|
0
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Ноябрь
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Год 2014
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Март
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Май
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Июнь
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
4
|
0
|
1
|
0
|
5
|
|
Август
|
4
|
0
|
1
|
0
|
5
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
3
|
0
|
4
|
|
Ноябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Год 2015
|
Квартал 1
|
Январь
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Март
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Май
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Август
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Сентябрь
|
1
|
0
|
3
|
0
|
4
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
4
|
0
|
1
|
0
|
5
|
|
Ноябрь
|
6
|
0
|
4
|
0
|
10
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
8
|
0
|
8
|
|
Год 2016
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Март
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
7
|
0
|
10
|
|
Май
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Август
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Сентябрь
|
4
|
0
|
1
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Ноябрь
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Год 2017
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Май
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Август
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Ноябрь
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Декабрь
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
5
|
0
|
6
|
|
Февраль
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Март
|
3
|
0
|
5
|
0
|
8
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Май
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Август
|
13
|
0
|
3
|
0
|
16
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Ноябрь
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Декабрь
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Март
|
4
|
0
|
2
|
0
|
6
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Май
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Август
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Декабрь
|
1
|
0
|
3
|
0
|
4
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
5
|
0
|
5
|
|
Март
|
6
|
0
|
5
|
0
|
11
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Май
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Сентябрь
|
6
|
0
|
0
|
0
|
6
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Ноябрь
|
4
|
0
|
6
|
0
|
10
|
|
Декабрь
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
5
|
0
|
6
|
|
Февраль
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Март
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Май
|
3
|
0
|
7
|
0
|
10
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
8
|
0
|
10
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Август
|
6
|
0
|
5
|
0
|
11
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
3
|
0
|
3
|
|
Всего
|
253
|
0
|
210
|
0
|
463
|
