Горелов, В.А. Проблема фоторезиста для нанолитографии [Электронный ресурс] / В.А. Горелов, Р.П. Сейсян. — (Секция "Твердотельная электроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 77,6 Кб) // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Совет по научно-исследовательской работе студентов; [под общ. ред. А. И. Рудского, В. В. Глухова]. – СПб. – 2006. – Физико-механический факультет; Физико-технический факультет; Факультет медицинской физики и биоинженерии. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/007013.pdf>.
Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
---|---|---|---|---|---|
Год 2012 | 14 | 0 | 11 | 0 | 25 |
Год 2013 | 41 | 0 | 11 | 0 | 52 |
Год 2014 | 25 | 0 | 8 | 0 | 33 |
Год 2015 | 26 | 0 | 21 | 0 | 47 |
Год 2016 | 23 | 0 | 23 | 0 | 46 |
Год 2017 | 27 | 0 | 21 | 0 | 48 |
Год 2018 | 33 | 0 | 33 | 0 | 66 |
Год 2019 | 15 | 0 | 20 | 0 | 35 |
Год 2020 | 30 | 0 | 19 | 0 | 49 |
Год 2021 | 23 | 0 | 53 | 0 | 76 |
Год 2022 | 30 | 0 | 28 | 0 | 58 |
Год 2023 | 25 | 0 | 36 | 0 | 61 |
Год 2024 | 35 | 0 | 44 | 0 | 79 |
Год 2025 | 25 | 0 | 18 | 0 | 43 |
Всего | 372 | 0 | 346 | 0 | 718 |