Алябьев, Алексей Юрьевич. Применение технологии атомно-слоевого осаждения оксида гафния в производстве элементов электронной компонентной базы = Atomic layer deposition technology for electronic components production [Электронный ресурс] / А. Ю. Алябьев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 403 Кб) // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление = St. Petersburg state polytechnical university journal. Computer science. Telecommunications and control systems: научное издание. – Санкт-Петербург. – 2015. – Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/8699.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.5862/JCSTCS.224.5>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Год 2016 | 70 | 0 | 64 | 0 | 134 |
| Год 2017 | 29 | 0 | 105 | 0 | 134 |
| Год 2018 | 26 | 0 | 209 | 0 | 235 |
| Год 2019 | 10 | 2 | 147 | 0 | 159 |
| Год 2020 | 45 | 0 | 53 | 0 | 98 |
| Год 2021 | 29 | 0 | 41 | 0 | 70 |
| Год 2022 | 40 | 0 | 69 | 0 | 109 |
| Год 2023 | 21 | 0 | 70 | 0 | 91 |
| Год 2024 | 32 | 0 | 95 | 0 | 127 |
| Всего | 302 | 2 | 853 | 0 | 1 157 |