Алябьев, Алексей Юрьевич. Применение технологии атомно-слоевого осаждения оксида гафния в производстве элементов электронной компонентной базы = Atomic layer deposition technology for electronic components production [Электронный ресурс] / А. Ю. Алябьев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 403 Кб) // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление = St. Petersburg state polytechnical university journal. Computer science. Telecommunications and control systems: научное издание. – Санкт-Петербург. – 2015. – Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/8699.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.5862/JCSTCS.224.5>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2016
|
Квартал 1
|
Январь
|
11
|
0
|
3
|
0
|
14
|
|
Февраль
|
21
|
0
|
19
|
0
|
40
|
|
Март
|
5
|
0
|
7
|
0
|
12
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
8
|
0
|
15
|
0
|
23
|
|
Май
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
|
Июнь
|
3
|
0
|
3
|
0
|
6
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Август
|
3
|
0
|
6
|
0
|
9
|
|
Сентябрь
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Ноябрь
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Декабрь
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Год 2017
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Март
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Май
|
2
|
0
|
5
|
0
|
7
|
|
Июнь
|
3
|
0
|
5
|
0
|
8
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
5
|
0
|
9
|
0
|
14
|
|
Август
|
1
|
0
|
21
|
0
|
22
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
15
|
0
|
17
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
4
|
0
|
13
|
0
|
17
|
|
Ноябрь
|
6
|
0
|
16
|
0
|
22
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
17
|
0
|
19
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
Январь
|
3
|
0
|
29
|
0
|
32
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
21
|
0
|
22
|
|
Март
|
1
|
0
|
20
|
0
|
21
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
19
|
0
|
22
|
|
Май
|
3
|
0
|
15
|
0
|
18
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
34
|
0
|
35
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
3
|
0
|
13
|
0
|
16
|
|
Август
|
5
|
0
|
12
|
0
|
17
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
10
|
0
|
12
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
9
|
0
|
9
|
|
Ноябрь
|
1
|
0
|
15
|
0
|
16
|
|
Декабрь
|
3
|
0
|
12
|
0
|
15
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
6
|
0
|
7
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
5
|
0
|
5
|
|
Март
|
1
|
0
|
6
|
0
|
7
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
22
|
0
|
23
|
|
Май
|
2
|
0
|
22
|
0
|
24
|
|
Июнь
|
2
|
2
|
18
|
0
|
22
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
20
|
0
|
20
|
|
Август
|
1
|
0
|
9
|
0
|
10
|
|
Сентябрь
|
1
|
0
|
5
|
0
|
6
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
5
|
0
|
5
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
10
|
0
|
10
|
|
Декабрь
|
1
|
0
|
19
|
0
|
20
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
9
|
0
|
9
|
|
Февраль
|
2
|
0
|
12
|
0
|
14
|
|
Март
|
9
|
0
|
13
|
0
|
22
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
8
|
0
|
0
|
0
|
8
|
|
Май
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Июнь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
6
|
0
|
0
|
0
|
6
|
|
Август
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Сентябрь
|
5
|
0
|
0
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Ноябрь
|
5
|
0
|
6
|
0
|
11
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
11
|
0
|
13
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
Январь
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Март
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
3
|
0
|
3
|
|
Май
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Июнь
|
8
|
0
|
4
|
0
|
12
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Август
|
5
|
0
|
6
|
0
|
11
|
|
Сентябрь
|
3
|
0
|
3
|
0
|
6
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
6
|
0
|
8
|
|
Ноябрь
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
7
|
0
|
9
|
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
Январь
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Февраль
|
9
|
0
|
12
|
0
|
21
|
|
Март
|
1
|
0
|
7
|
0
|
8
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
12
|
0
|
15
|
|
Май
|
0
|
0
|
4
|
0
|
4
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
5
|
0
|
6
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
|
Август
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Сентябрь
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Ноябрь
|
6
|
0
|
4
|
0
|
10
|
|
Декабрь
|
7
|
0
|
7
|
0
|
14
|
|
Год 2023
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
5
|
0
|
6
|
|
Февраль
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Март
|
0
|
0
|
9
|
0
|
9
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
6
|
0
|
6
|
|
Май
|
4
|
0
|
17
|
0
|
21
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
3
|
0
|
3
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
4
|
0
|
3
|
0
|
7
|
|
Август
|
3
|
0
|
3
|
0
|
6
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Ноябрь
|
3
|
0
|
4
|
0
|
7
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
9
|
0
|
9
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Февраль
|
4
|
0
|
5
|
0
|
9
|
|
Март
|
1
|
0
|
8
|
0
|
9
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
23
|
0
|
26
|
|
Всего
|
278
|
2
|
796
|
0
|
1 076
|
