Алябьев, Алексей Юрьевич. Применение технологии атомно-слоевого осаждения оксида гафния в производстве элементов электронной компонентной базы = Atomic layer deposition technology for electronic components production [Электронный ресурс] / А. Ю. Алябьев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 403 Кб) // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление = St. Petersburg state polytechnical university journal. Computer science. Telecommunications and control systems: научное издание. – Санкт-Петербург. – 2015. – Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/8699.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.5862/JCSTCS.224.5>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Год 2016 | Квартал 1 | 37 | 0 | 29 | 0 | 66 |
| Квартал 2 | 15 | 0 | 22 | 0 | 37 | |
| Квартал 3 | 8 | 0 | 8 | 0 | 16 | |
| Квартал 4 | 10 | 0 | 5 | 0 | 15 | |
| Год 2017 | Квартал 1 | 4 | 0 | 4 | 0 | 8 |
| Квартал 2 | 5 | 0 | 10 | 0 | 15 | |
| Квартал 3 | 8 | 0 | 45 | 0 | 53 | |
| Квартал 4 | 12 | 0 | 46 | 0 | 58 | |
| Год 2018 | Квартал 1 | 5 | 0 | 70 | 0 | 75 |
| Квартал 2 | 7 | 0 | 68 | 0 | 75 | |
| Квартал 3 | 10 | 0 | 35 | 0 | 45 | |
| Квартал 4 | 4 | 0 | 36 | 0 | 40 | |
| Год 2019 | Квартал 1 | 2 | 0 | 17 | 0 | 19 |
| Квартал 2 | 5 | 2 | 62 | 0 | 69 | |
| Квартал 3 | 2 | 0 | 34 | 0 | 36 | |
| Квартал 4 | 1 | 0 | 34 | 0 | 35 | |
| Год 2020 | Квартал 1 | 11 | 0 | 34 | 0 | 45 |
| Квартал 2 | 12 | 0 | 2 | 0 | 14 | |
| Квартал 3 | 13 | 0 | 0 | 0 | 13 | |
| Квартал 4 | 9 | 0 | 17 | 0 | 26 | |
| Год 2021 | Квартал 1 | 5 | 0 | 7 | 0 | 12 |
| Квартал 2 | 9 | 0 | 8 | 0 | 17 | |
| Квартал 3 | 10 | 0 | 12 | 0 | 22 | |
| Квартал 4 | 5 | 0 | 14 | 0 | 19 | |
| Год 2022 | Квартал 1 | 12 | 0 | 22 | 0 | 34 |
| Квартал 2 | 4 | 0 | 21 | 0 | 25 | |
| Квартал 3 | 10 | 0 | 11 | 0 | 21 | |
| Квартал 4 | 14 | 0 | 15 | 0 | 29 | |
| Год 2023 | Квартал 1 | 3 | 0 | 18 | 0 | 21 |
| Квартал 2 | 4 | 0 | 26 | 0 | 30 | |
| Квартал 3 | 9 | 0 | 9 | 0 | 18 | |
| Квартал 4 | 5 | 0 | 17 | 0 | 22 | |
| Год 2024 | Квартал 1 | 5 | 0 | 15 | 0 | 20 |
| Квартал 2 | 15 | 0 | 54 | 0 | 69 | |
| Квартал 3 | 12 | 0 | 26 | 0 | 38 | |
| Всего | 302 | 2 | 853 | 0 | 1 157 | |