Осипов, Артем Арменакович. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности [Электронный ресурс]: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 / Осипов Артем Арменакович; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого ; науч. рук. С. Е. Александров. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,52 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/r19-16.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/r19-16>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Yesterday | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 30 days | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 365 days | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| All time | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |