Details

Title: Физические основы дифракционных методов и их применение для выявления и анализа дефектной структуры материалов микро- и наноэлектроники: учебное пособие
Creators: Сорокин Лев Михайлович
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2011
Electronic publication: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Дифракция; Кристаллография; Электронная микроскопия; Наноструктурные материалы
UDC: 620.18(075.8); 537.874.6(075.8); 548:53(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 16.00.00; 28.00.00
Speciality group (FGOS): 160000 - Физико-технические науки и технологии; 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si20-1799
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Изложены фундаментальные сведения по теоретическим основам современных дифракционных методов (просвечивающая электронная микроскопия, рентгеновская топография, рентгеновская дифрактометрия) на базе динамической теории рассеяния электронов и рентгеновских лучей в идеальных и несовершенных кристаллах, включая элементы теории изображения дефектов кристаллической решетки. Знание последней позволяет определять природу протяженных дефектов (дислокации, дефекты упаковки, частиц новой фазы, интерфейсов и других несовершенств, возникающих в объеме полупроводниковых монокристаллов, а также в гетероэпитаксиальных структурах в результате ростовых процессов и различных технологических операций в микро- и наноэлектронике). Предназначено для студентов физико-технического факультета, обучающихся по направлению магистерской подготовки 140400 «Техническая физика», специальности «Физика и техника полупроводников», «Физика структур пониженной размерности».

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • Введение
  • 1. Элементы кристаллографии
  • 2. Элементы кинематической теории рассеяния электронов
  • 3. Динамическая теория рассеяния электронов
  • 4. Контраст электронно-микроскопических изображенийдефектов кристаллической решетки
  • 5. Аналитические методы электронной микроскопии
  • 6. Основы динамической теории рассеяния рентгеновскихлучей
  • 7. Рентгеновские дифракционные методы
  • Библиографический список

Usage statistics

stat Access count: 3
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics