Details

Title Физические основы дифракционных методов и их применение для выявления и анализа дефектной структуры материалов микро- и наноэлектроники: учебное пособие
Creators Сорокин Лев Михайлович
Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2011
Electronic publication Санкт-Петербург, 2020
Collection Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция
Subjects Дифракция ; Кристаллография ; Электронная микроскопия ; Наноструктурные материалы
UDC 620.18(075.8) ; 537.874.6(075.8) ; 548:53(075.8)
Document type Tutorial
File type PDF
Language Russian
Speciality code (FGOS) 16.00.00 ; 28.00.00
Speciality group (FGOS) 160000 - Физико-технические науки и технологии ; 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI 10.18720/SPBPU/2/si20-1799
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key RU\SPSTU\edoc\64783
Record create date 12/24/2020

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Изложены фундаментальные сведения по теоретическим основам современных дифракционных методов (просвечивающая электронная микроскопия, рентгеновская топография, рентгеновская дифрактометрия) на базе динамической теории рассеяния электронов и рентгеновских лучей в идеальных и несовершенных кристаллах, включая элементы теории изображения дефектов кристаллической решетки. Знание последней позволяет определять природу протяженных дефектов (дислокации, дефекты упаковки, частиц новой фазы, интерфейсов и других несовершенств, возникающих в объеме полупроводниковых монокристаллов, а также в гетероэпитаксиальных структурах в результате ростовых процессов и различных технологических операций в микро- и наноэлектронике). Предназначено для студентов физико-технического факультета, обучающихся по направлению магистерской подготовки 140400 «Техническая физика», специальности «Физика и техника полупроводников», «Физика структур пониженной размерности».

Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous
  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • Введение
  • 1. Элементы кристаллографии
  • 2. Элементы кинематической теории рассеяния электронов
  • 3. Динамическая теория рассеяния электронов
  • 4. Контраст электронно-микроскопических изображенийдефектов кристаллической решетки
  • 5. Аналитические методы электронной микроскопии
  • 6. Основы динамической теории рассеяния рентгеновскихлучей
  • 7. Рентгеновские дифракционные методы
  • Библиографический список

Access count: 11 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics