Details
Title | Плазмохимическое травление кремния с использованием гексафторида серы: бакалаврская работа: 22.03.01 |
---|---|
Creators | Маловичко Виктор Александрович |
Scientific adviser | Михайловский Григорий Александрович |
Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
Imprint | Санкт-Петербург, 2017 |
Collection | Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция |
Subjects | плазмохимическое травление; пониженное давление; полировка |
Document type | Bachelor graduation qualification work |
File type | |
Language | Russian |
Level of education | Bachelor |
Speciality code (FGOS) | 22.03.01 |
Speciality group (FGOS) | 220000 - Технологии материалов |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/v17-3410 |
Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\43112 |
Record create date | 10/3/2017 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group | Anonymous |
---|---|
Network | Internet |
Последнее время в технологии микросистемной техники пытаются перейти от травления при высоком вакууме к более высоким давлениям. Это связано с отказом от дорогостоящего высоковакуумного оборудования и упрощения процесса травления. С увеличением давления в камере ожидается эффект полировки пластин изотропным травлением. В данной работе представлены результаты плазмохимического травления кремния в низкотемпературной плазме в газовой смеси He/SF6/O2 при пониженном давлении (2500 Па). Полученные результаты справедливы только для приведенных расходов газов, так как изменение состава газовой смеси приведет к изменению парциального давления газов в реакторе и результаты могут измениться.
Network | User group | Action |
---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All |
|
Internet | Authorized users SPbPU |
|
Internet | Anonymous |
|
Access count: 372
Last 30 days: 0