Details

Title Плазмохимическое травление кремния с использованием гексафторида серы: бакалаврская работа: 22.03.01
Creators Маловичко Виктор Александрович
Scientific adviser Михайловский Григорий Александрович
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint Санкт-Петербург, 2017
Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects плазмохимическое травление; пониженное давление; полировка
Document type Bachelor graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Bachelor
Speciality code (FGOS) 22.03.01
Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов
DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3410
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key RU\SPSTU\edoc\43112
Record create date 10/3/2017

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Последнее время в технологии микросистемной техники пытаются перейти от травления при высоком вакууме к более высоким давлениям. Это связано с отказом от дорогостоящего высоковакуумного оборудования и упрощения процесса травления. С увеличением давления в камере ожидается эффект полировки пластин изотропным травлением. В данной работе представлены результаты плазмохимического травления кремния в низкотемпературной плазме в газовой смеси He/SF6/O2 при пониженном давлении (2500 Па). Полученные результаты справедливы только для приведенных расходов газов, так как изменение состава газовой смеси приведет к изменению парциального давления газов в реакторе и результаты могут измениться.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous

Access count: 372 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics