Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Плазмохимическое травление кремния с использованием гексафторида серы: бакалаврская работа: 22.03.01
Creators Маловичко Виктор Александрович Scientific adviser Михайловский Григорий Александрович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects плазмохимическое травление; пониженное давление; полировка Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 22.03.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3410 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.3 Mb -
Creators Маловичко Виктор Александрович Scientific adviser Мишин Максим Валерьевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Наноструктурные материалы; Железо, окислы; Кремний, окислы; Пленки тонкие — Получение; наночастицы; оксид железа; оксид кремния; атмосферное давление UDC 620.22-022.53(043.3); 539.23:546.28-31(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1082 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 1.0 Mb
