Electronic Documents Search
Documents found: 9
-
Плазмохимическое травление кремния с использованием гексафторида серы: бакалаврская работа: 22.03.01
Creators Маловичко Виктор Александрович Scientific adviser Михайловский Григорий Александрович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects плазмохимическое травление; пониженное давление; полировка Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 22.03.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3410 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.3 Mb -
Creators Моор Светлана Юрьевна Scientific adviser Демидов Александр Иванович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Плазменная обработка; Газовый разряд высокочастотный; плазмохимическое травление; технологические параметры; плазмохимическая полировка UDC 621.794.6(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3425 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.9 Mb -
Creators Янкевич Глеб Андреевич Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2016 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Газовый разряд; Плазменная обработка; Плазма (физ.) — Применение; монокристаллический кварц; плазмохимическое травление; monocrystalline quartz; plasma-chemical etching UDC 533.924:679.857.028.2(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/2/v16-3043 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.7 Mb -
Creators Осипов Артём Арменакович Scientific adviser Кузин Алексей Константинович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Промышленное оборудование; Плазмохимия; Травление металлов; моделирование физико-химических процессов; разработка концепции; создание оборудования; плазмохимическое травление UDC 544.55:621.794.4 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 15.04.03 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr18-271 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.3 Mb -
Creators Алексеев Владислав Алексеевич Scientific adviser Волков Андрей Николаевич Other creators Серикова Елена Андреевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects автоматизация; плазмохимическое травление; алгоритм; управление; реактор; камера; манипулятор; automation; plasma chemical etching; algorithm; control; reactor; chamber; manipulator Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 15.03.04 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4316 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 4.3 Mb -
Creators Куликов Михаил Игоревич Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Веселова Ирина Юрьевна; Барсуков Юрий Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Кремний, нитриды; высокочастотный емкостной разряд; плазмохимическое травление; оптическая спектроскопия; нитрид кремния; оксид кремния UDC 621.794.4:539.216.2 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-3573 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb -
Creators Гагаева Алина Евгеньевна Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects плазмохимическое травление; монокристаллический кремний; глубокое травление; анизотропное травление; plasma chemical etching; monocrystalline silicon; seep etching; anisotropic etching Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2117 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.6 Mb -
Creators Дворецкая Л. Н.; Можаров А. М.; Комаров С. Д.; Вячеславова Е. А.; Моисеев Э. И.; Федоров В. В.; Мухин И. С. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; микрорезонаторы; оптические микрорезонаторы; изолированные микрорезонаторы; микрорезонаторы на кремнии; плазмохимическое травление; микрофотолюминесценция; полупроводниковые материалы; microresonators; optical microresonators; insulated microresonators; silicon microresonators; plasma chemical etching; microphotoluminescence; semiconductor materials UDC 535.31 LBC 22.344 Document type Article, report File type PDF Language Russian DOI 10.18721/JPM.17303 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb -
Creators Царик К. А.; Некрасов Н. П.; Неволин В. К.; Бобринецкий И. И. Imprint 2022 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях; графены; подвешенные графены; структура графенов; микроразмерные поры; кремниевые микропоры; плазмохимическое травление; ионная литография; graphenes; suspended graphenes; graphene structure; micro-sized pores; silicon micropores; plasma chemical etching; ion lithography UDC 537.533/534 LBC 22.338 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-6-707-714 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=49993424
