Usage statistics

Буторин, Павел Сергеевич. Оптимизация Xe лазерно - плазменного источника EUV излучения для литографии. Новый метод подавления периферического поглощения [Электронный ресурс] = Optimization of Xe LPP source of EUV radiation for lithography. New method of suppressing peripheral absorption: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_05 - Физика плазмы / П. С. Буторин; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. В. Ю. Сергеев. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,6 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-3839.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3839>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-a.pdf>.

stat
Period Read Print Copy Open Total
Year 2019 Quarter 3 September 2 0 2 0 4
Quarter 4 October 6 0 3 0 9
November 0 0 0 0 0
December 2 0 2 0 4
Year 2020 Quarter 1 January 0 0 1 0 1
February 0 0 2 0 2
March 2 0 0 0 2
Quarter 2 April 0 0 0 0 0
May 0 0 0 0 0
June 1 0 1 0 2
Quarter 3 July 0 0 0 0 0
August 0 0 0 0 0
September 0 0 0 0 0
Quarter 4 October 0 0 0 0 0
November 0 0 0 0 0
Total 13 0 11 0 24