Electronic Documents Search
Documents found: 23
-
Creators Белавина Наталья Александровна Scientific adviser Шахмин Александр Львович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Акустоэлектроника; Кремний, окислы; термокомпенсация; ионно-лучевое травление; планаризация; thermocompensation; ion beam etching; planarization UDC 534:621.38 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1367 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.1 Mb -
Creators Терентьева Алёна Станиславовна Scientific adviser Шахмин Александр Львович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Мембранные приборы; Мембраны; Датчики давления; Наноструктурные материалы; микроэлектромеханические системы; технологии МЭМС; MEMS; MEMS-technology UDC 681.586'326; 681.121.845; 620.22-022.53 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1910-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1910-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1910-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1910 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.9 Mb -
Creators Корнилов Роман Олегович Scientific adviser Шахмин Александр Львович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Травление металлов; Кремний UDC 533.9; 621.794.4; 546.28; 669.782 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-6240 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.2 Mb
