Electronic Documents Search
Documents found: 13
-
Creators Куликов Михаил Игоревич Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects низкотемпературная плазма; ВЧЕ-разряд; системы диагностики; моделирование; low-temperature plasma; RFС-discharge; diagnostic systems; modeling Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 03.03.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3917-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3917-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3917 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.8 Mb -
Creators Панкратьев Павел Александрович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Газовый разряд высокочастотный; Травление металлов; Плазма (физ.); Спектроскопия; Численные методы; высокочастотный емкостной разряд; плазменное травление; оптическая спектроскопия UDC 537.52; 621.794.4:533.932; 535.33 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3845 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.3 Mb -
Creators Андрианов Николай Александрович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого; АО "Светлана-Рост" Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазменная обработка; Полупроводники — Травление; Триоды полупроводниковые полевые UDC 621.315.592(043.3); 621.794.449(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r18-57 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.7 Mb
