Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Белавина Наталья Александровна Scientific adviser Шахмин Александр Львович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects ниобат лития; танталат лития; пьезокварц; акустоэлектроника; фотоника Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 22.03.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-1799-o.pdf DOI 10.18720/SPBPU/2/v18-1799 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.8 Mb -
Creators Белавина Наталья Александровна Scientific adviser Шахмин Александр Львович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Акустоэлектроника; Кремний, окислы; термокомпенсация; ионно-лучевое травление; планаризация; thermocompensation; ion beam etching; planarization UDC 534:621.38 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1367 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.1 Mb
