Electronic Documents Search
Documents found: 6
-
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb -
Creators Соколова Наталья Алексеевна Scientific adviser Цеменко Валерий Николаевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Композиционные материалы порошковые; Покрытия; Алюминиевые порошки; Кремний, нитриды; Металлизация UDC 621.763:669.716 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-2172-o.pdf DOI 10.18720/SPBPU/2/v18-2172 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.1 Mb -
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb -
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Краснова Надежда Константиновна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Газовый разряд; Квантовая химия; Моделирование; Травление металлов; Кремний, нитриды UDC 533.9; 537.52; 544.16; 621.794.4; 546.28'171.1 Document type Scientific report File type Other Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 03.06.01 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141 -
Creators Куликов Михаил Игоревич Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Веселова Ирина Юрьевна; Барсуков Юрий Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Кремний, нитриды; высокочастотный емкостной разряд; плазмохимическое травление; оптическая спектроскопия; нитрид кремния; оксид кремния UDC 621.794.4:539.216.2 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-3573 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb -
Creators Каракчиев Сергей Валерьевич Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Кремний, нитриды; Диэлектрические покрытия; взрывная литография; маска для взрывной литографии; lift-off lithography; mask for lift-off lithography UDC 546.28'171.1; 621.793 Document type Scientific report File type Other Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 11.06.01 Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141
