Electronic Documents Search

Documents found: 1 530

Исследование и разработка процесса глубокого анизотропного плазменного травления кремния со сниженной шероховатостью боковых стенок структур // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 6. — С. 762-772

Creators	Голишников А. А.; Дюжев Н. А.; Парамонов В. В.; Потапенко И. В.; Путря М. Г.; Сомов Н. М.; Чаплыгин Ю. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; плазменное травление; анизотропное плазменное травление; кремний; глубокое плазменное травление; боковые структурные стенки; шероховатость боковых стенок (физика); сниженная шероховатость стенок; plasma etching; anisotropic plasma etching; silicon; deep plasma etching; side structural walls; side wall roughness (physics); reduced wall roughness
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-6-762-772
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172133

Управление составом тонких пленок Mo-Si-N-O при реактивном магнетронном распылении // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 6. — С. 745-761

Creators	Громов Д. Г.; Гаврилов С. А.; Лебедев Е. А.; Силибин М. В.; Дубков С. В.; Аникин А. В.; Погалов А. И.; Дронова Д. А.; Бутманов Д. Д.; Ширяев М. Е.; Громов В. Д.; Рязанов Р. М.; Шарипов Р. А.; Беспалов В. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; тонкие пленки; состав тонких пленок; управление составом пленок; магнетронное распыление; реактивное распыление; фазосдвигающие фотошаблоны (физика); нитридизация; thin films; composition of thin films; film composition control; magnetron sputtering; reactive sputtering; phase-shifting photomasks (physics); nitridization
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-6-745-761
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172126

Окисление циркония, легированного хромом, при воздействии компрессионных плазменных потоков // Физика и химия обработки материалов: научно-технический журнал. – 2023. – № 3. — С. 18-32

Creators	Шиманский В. И.; Шевелёва В. В.; Углов В. В.; Асташинский В. М.; Кузьмицкий А. М.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; цирконий; окисление циркония; легирование хромом; плазменные потоки; компрессионные плазменные потоки; оксид циркония; легирование поверхностных слоев; zirconium; zirconium oxidation; chromium alloying; plasma flows; compression plasma flows; zirconium oxide; alloying of surface layers
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.30791/0015-3214-2023-3-18-32
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=54096051

Изменение состава и коррозионно-электрохимических свойств хромоникелевой стали 03Х18Н11 при имплантации ионов аргона, кислорода и азота // Физика и химия обработки материалов: научно-технический журнал. – 2023. – № 3. — С. 5-17

Creators	Быстров С. Г.; Решетников С. М.; Колотов А. А.; Баянкин В. Я.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; хромоникелевые стали; коррозионно-электрохимические свойства; состав хромоникелевых сталей; имплантация ионов; аргон; кислород; азот; chromium-nickel steels; corrosion-electrochemical properties; composition of chromium-nickel steels; ion implantation; argon; oxygen; nitrogen
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.30791/0015-3214-2023-3-5-17
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=54096049

Особенности поляризованного монохроматического черенковского излучения в ультрафиолетовом, оптическом и терагерцовом диапазонах // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 5. — С. 700-704

Creators	Булгакова М. В.; Малышевский В. С.; Фомин Г. В.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; черенковское излучение; монохроматическое излучение; поляризованное излучение; терагерцовый диапазон; оптический диапазон; ультрафиолетовый диапазон; переходное излучение
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2023.05.55723.4190-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54187593

Аналитическое решение задачи о переносе немонохроматического направленного излучения в резонансно поглощающей среде // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 5. — С. 705-710

Creators	Ямщиков В. М.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; резонансно поглощающие среды; немонохроматическое излучение; направленное излучение; перенос немонохроматического излучения; кинетика населенностей уровней (оптика); аналитическое решение задач; атомы щелочных металлов
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2023.05.55724.4104-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54187594

Оптические свойства халькогенидных стекол системы Ga-Ge-Sb-Se, легированных ионами тербия и диспрозия, вблизи края полосы фундаментального поглощения // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 1. — С. 15-24

Creators	Кузюткина Ю. С.; Паршина Н. Д.; Романова Е. А.; Кочубей В. И.; Суханов М. В.; Кеткова Л. А.; Ширяев В. С.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Оптические свойства твердых тел; халькогенидные стекла; оптические свойства стекол; легированные стекла; легирование ионами тербия; легирование ионами диспрозия; полоса фундаментального поглощения; редкоземельные элементы
UDC	539.21:535
LBC	22.374
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2023.01.54532.4083-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50321156

Особенности в кинетике затухания желтой люминесценции в кристаллах LiF-UO[2] // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 1. — С. 11-14

Creators	Щепина Л. И.; Иванов Н. А.; Ружников Л. И.; Храмцова А. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Люминесценция; желтая люминесценция; затухание люминесценции; кинетика затухания люминесценции; кристаллы; степень поляризации; кислородные дефекты; перенос электронов
UDC	535.37
LBC	22.345
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2023.01.54531.3869-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50321155

Спектры люминесценции и необычный температурный сдвиг бесфононной эмиссионной линии V{3+} в SrTiO[3] // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 4. — С. 510-513

Creators	Скворцов А. П.; Potucek Z.; Bryknar Z.; Dejneka A.; Трепаков В. А.
Organization	Международный Феофиловский симпозиум по спектроскопии кристаллов, активированных ионами редкоземельных и переходных металлов
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Люминесценция; спектры люминесценции; температурные сдвиги; эмиссионные линии; бесфононные эмиссионные линии; виртуальные сегнетоэлектрики; переходные металлы; примесные ионы
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2023.04.55555.63-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=53768161

Голография и прикладные оптические технологии // Оптический журнал. – 2025. – № 3. — С. 3-4 New arrival!

Creators	Венедиктов В. Ю.
Imprint	2025
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; предисловие редактора; международные конференции; голография; оптические технологии; корреляторы изображений; квантовая оптика; адаптивная оптика; лазерная гироскопия
UDC	535.31
LBC	22.342
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2025-92-03-3-4
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/15559242/viewer?udb=12&page=4