Electronic Documents Search

Documents found: 2

1

Метод взрывной литографии при изготовлении оптоэлектронных приборов // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. – 2005. – Радиофизический факультет. — Ч.6

Creators	Чунарева А. В.; Ильинская Н. Д.
Other creators	Глухов В. В.
Organization	Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	СПб., 2005
Collection	Общая коллекция
Subjects	фоторезисторы; взрывная литография; профили фоторезисторов; фотополимеризация; термополимеризация; микролитография
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 229 Kb

Разработка процесса получения многослойного диэлектрического покрытия на основе нитрида кремния для использования в технологии взрывной литографии: научный доклад: направление подготовки 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» ; направленность 11.06.01_03 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»

Creators	Каракчиев Сергей Валерьевич
Scientific adviser	Александров Сергей Евгеньевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2023
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Кремний, нитриды; Диэлектрические покрытия; взрывная литография; маска для взрывной литографии; lift-off lithography; mask for lift-off lithography
UDC	546.28'171.1; 621.793
Document type	Scientific report
File type	Other
Language	Russian
Level of education	Graduate student
Speciality code (FGOS)	11.06.01
Speciality group (FGOS)	110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Rights	Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141

1