Electronic Documents Search

Documents found: 4

1

Плазмохимическое травление нитрида и оксида кремния ВЧЕ разрядом в смеси SF₆/H₂ и SF₆/D₂: выпускная квалификационная работа магистра: направление 03.04.02 «Физика» ; образовательная программа 03.04.02_10 «Физика космических и плазменных процессов»

Creators	Куликов Михаил Игоревич
Scientific adviser	Смирнов Александр Сергеевич
Other creators	Веселова Ирина Юрьевна; Барсуков Юрий Владимирович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint	Санкт-Петербург, 2021
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Пленки тонкие; Кремний, нитриды; высокочастотный емкостной разряд; плазмохимическое травление; оптическая спектроскопия; нитрид кремния; оксид кремния
UDC	621.794.4:539.216.2
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	03.04.02
Speciality group (FGOS)	030000 - Физика и астрономия
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-3573
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.6 Mb

Модифицирование наноразмерными частицами нитрида кремния материалов на основе системы Ti – B – Fe, полученных методом СВС-экструзии // Физика и химия обработки материалов: научно-технический журнал. – 2022. – № 4. — С. 37-44

Creators	Болоцкая А. В.; Михеев М. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Химия; Химия высоких температур; электродные материалы; модифицирование материалов; нитрид кремния; наноразмерные частицы; СВС-экструзия; самораспространяющийся высокотемпературный синтез; керамические материалы; electrode materials; modification of materials; silicon nitride; nanoscale particles; SHS-extrusion; self-propagating high-temperature synthesis; ceramic materials
UDC	544.5
LBC	24.593
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.30791/0015-3214-2022-4-37-44
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49581723

Оптические свойства пиролитического нитрида кремния SiN[x], обогащённого кремнием // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 11. — С. 1718-1722

Creators	Перевалов Т. В.; Спесивцев Е. В.; Рыхлицкий С. В.; Бобовников П. Г.; Красников Г. Я.; Гриценко В. А.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика полупроводников и диэлектриков; нитрид кремния; пиролитический нитрид кремния; оптические свойства; обогащение кремнием; мемристоры; коэффициент поглощения; квантово-химическое моделирование
UDC	537.311.33
LBC	22.379
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2022.11.53779.3834-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50006381

Численное моделирование делителя поляризации в конфигурации направленного разветвителя с нулевым зазором на основе тонких пленок нитрида кремния // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 11. — С. 1529-1531

Creators	Кузнецов И. В.; Перин А. С.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; нитрид кремния; пленки нитрида кремния; разветвители с нулевым зазором; конфигурации направленных разветвителей; поляризация; делители поляризации; численное моделирование; двухмодовая интерференция
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.61011/OS.2023.11.57020.5003-23
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=60019315

1