Electronic Documents Search
Documents found: 3
-
Creators Голишников А. А.; Дюжев Н. А.; Парамонов В. В.; Потапенко И. В.; Путря М. Г.; Сомов Н. М.; Чаплыгин Ю. А. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; плазменное травление; анизотропное плазменное травление; кремний; глубокое плазменное травление; боковые структурные стенки; шероховатость боковых стенок (физика); сниженная шероховатость стенок; plasma etching; anisotropic plasma etching; silicon; deep plasma etching; side structural walls; side wall roughness (physics); reduced wall roughness UDC 533.9 LBC 22.333 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-6-762-772 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172133 -
Creators Панкратьев Павел Александрович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Газовый разряд высокочастотный; Травление металлов; Плазма (физ.); Спектроскопия; Численные методы; высокочастотный емкостной разряд; плазменное травление; оптическая спектроскопия UDC 537.52; 621.794.4:533.932; 535.33 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3845 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.3 Mb -
Creators Рамушина Е. М.; Гуревич С. А. Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Физико-технический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб., 2002 Collection Общая коллекция Subjects реактивное травление; ионное травление; III-нитриды; плазменное травление; наклонный профиль; химические реагенты; маски; параметры плазмы UDC 662.642:621.926.7 Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 74 Kb
