Поиск по электронным документам
Найдено документов: 1
-
Авторы Шеляпина Софья Алексеевна Научный руководитель Кириленко Демид Александрович; Брунков Павел Николаевич Другие авторы Каасик Владимир Паулович Организация Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Выходные сведения Санкт-Петербург, 2020 Коллекция Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Тематика сканирующая зондовая микроскопия; атомно-силовая микроскопия; электростатическая силовая микроскопия; сканирующая емкостная микроскопия; лазерное легирование; кремний; структура металл-оксид-полупроводник; scanning probe microscopy; atomic force microscopy; electrostatic force microscopy; scanning capacitance microscopy; laser doping; silicon; metal-oxide-semiconductor structure Тип документа Выпускная квалификационная работа бакалавра Тип файла PDF Язык Русский Уровень высшего образования Бакалавриат Код специальности ФГОС 03.03.02 Группа специальностей ФГОС 030000 - Физика и астрономия Ссылки http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3028-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3028-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-3028 Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2,1 Мб
