Electronic Documents Search
Documents found: 18
-
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Краснова Надежда Константиновна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Газовый разряд; Квантовая химия; Моделирование; Травление металлов; Кремний, нитриды UDC 533.9; 537.52; 544.16; 621.794.4; 546.28'171.1 Document type Scientific report File type Other Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 03.06.01 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141 -
Creators Левина Светлана Николаевна Scientific adviser Тюрикова Ирина Андреевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2022 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Компьютерное моделирование; Травление металлов; Кремний, карбиды; оптическая-эмиссионная спектроскопия; мембрана; optical emission spectroscopy; membrane UDC 004.94; 621.794.4; 661.665.1 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-273 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.6 Mb -
Creators Антонова Анастасия Витальевна Scientific adviser Соловьев Юрий Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Полупроводниковые гетеропереходы; Травление металлов; Галлий, арсенид; жидкостное химическое травление; селективность травления; мезаструктура; профиль травления; полирующие травители UDC 621.794.4(043.3); 537.311.322(043.3); 661.868.1(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1213-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1213-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1213-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1213 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 2.4 Mb -
Creators Панкратьев Павел Александрович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Газовый разряд высокочастотный; Травление металлов; Плазма (физ.); Спектроскопия; Численные методы; высокочастотный емкостной разряд; плазменное травление; оптическая спектроскопия UDC 537.52; 621.794.4:533.932; 535.33 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3845 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.3 Mb -
Creators Алиева Александра Игоревна Scientific adviser Мишин Максим Валерьевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Кремний; Стекло; Травление металлов; Гироскопы; Датчики; bosch-процесс; травление кремния; микромеханические гироскопы; капсулированные датчики UDC 621.794.44:669.782(043.3); 669.782:666.1/.28(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1069 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 5.7 Mb -
Creators Корнилов Роман Олегович Scientific adviser Шахмин Александр Львович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Травление металлов; Кремний UDC 533.9; 621.794.4; 546.28; 669.782 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-6240 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.2 Mb -
Creators Демидов Егор Романович Scientific adviser Рябошук Сергей Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Сталь листовая; Травление металлов; Коррозия металлов; хлорид-ионы; качественные реакции; реагенты на хлорид-ионы; оптические методы контроля; chloride ions; qualitative reactions; reagents for chloride ions; optical methods of control UDC 669.14-41; 621.794.4; 669:620.193 Document type Master graduation qualification work File type Other Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.02 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 13.06.2017 г. № 91 -
Creators Демидов Егор Романович Scientific adviser Рябошук Сергей Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Сталь листовая; Травление металлов; Коррозия металлов; хлорид-ионы; качественные реакции; реагенты на хлорид-ионы; оптические методы контроля; chloride ions; qualitative reactions; reagents for chloride ions; optical methods of control UDC 669.14-41; 621.794.4; 669:620.193 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.02 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-6266 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 5.3 Mb
