Вакуумная техника для производства микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс]: учебное пособие / [М. В. Мишин, А. В. Архипов, П. Г. Габдуллин, О. Е. Квашенкина]; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 8,06 Мб). — Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Электронная копия печатной публикации 2019 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/i19-225.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/i19-225>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Yesterday | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 30 days | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Last 365 days | 141 | 9 | 0 | 0 | 150 |
| All time | 416 | 24 | 0 | 0 | 440 |