Вакуумная техника для производства микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс]: учебное пособие / [М. В. Мишин, А. В. Архипов, П. Г. Габдуллин, О. Е. Квашенкина]; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 8,06 Мб). — Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Электронная копия печатной публикации 2019 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/i19-225.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/i19-225>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Year 2019 | 6 | 0 | 0 | 0 | 6 |
| Year 2020 | 130 | 4 | 0 | 0 | 134 |
| Year 2021 | 44 | 6 | 0 | 0 | 50 |
| Year 2022 | 47 | 2 | 0 | 0 | 49 |
| Year 2023 | 51 | 5 | 0 | 0 | 56 |
| Year 2024 | 138 | 7 | 0 | 0 | 145 |
| Total | 416 | 24 | 0 | 0 | 440 |