Вакуумная техника для производства микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс]: учебное пособие / [М. В. Мишин, А. В. Архипов, П. Г. Габдуллин, О. Е. Квашенкина]; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 8,06 Мб). — Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Электронная копия печатной публикации 2019 г. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/i19-225.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/i19-225>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Year 2019 | Quarter 3 | 5 | 0 | 0 | 0 | 5 |
| Quarter 4 | 1 | 0 | 0 | 0 | 1 | |
| Year 2020 | Quarter 1 | 7 | 0 | 0 | 0 | 7 |
| Quarter 2 | 72 | 3 | 0 | 0 | 75 | |
| Quarter 3 | 40 | 1 | 0 | 0 | 41 | |
| Quarter 4 | 11 | 0 | 0 | 0 | 11 | |
| Year 2021 | Quarter 1 | 15 | 3 | 0 | 0 | 18 |
| Quarter 2 | 25 | 3 | 0 | 0 | 28 | |
| Quarter 3 | 2 | 0 | 0 | 0 | 2 | |
| Quarter 4 | 2 | 0 | 0 | 0 | 2 | |
| Year 2022 | Quarter 1 | 9 | 0 | 0 | 0 | 9 |
| Quarter 2 | 29 | 2 | 0 | 0 | 31 | |
| Quarter 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Quarter 4 | 9 | 0 | 0 | 0 | 9 | |
| Year 2023 | Quarter 1 | 11 | 2 | 0 | 0 | 13 |
| Quarter 2 | 37 | 1 | 0 | 0 | 38 | |
| Quarter 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Quarter 4 | 3 | 2 | 0 | 0 | 5 | |
| Year 2024 | Quarter 1 | 18 | 1 | 0 | 0 | 19 |
| Quarter 2 | 120 | 6 | 0 | 0 | 126 | |
| Quarter 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Total | 416 | 24 | 0 | 0 | 440 | |