Electronic Documents Search
Documents found: 9
-
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb -
Creators Мелконян Паруйр Севакович Scientific adviser Шахмин Александр Львович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects диэлектрический барьерный разряд; атмосферное давление; тонкие пленки; плазмохимическое осаждение из газовой фазы; карбид кремния; оксид кремния; рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия; инфракрасная Фурье-спектроскопия; dielectric barrier discharge; atmospheric pressure; thin films; plasma enhanced chemical vapour deposition; silicon carbide; silicon oxide; x-ray photoelectron spectroscopy; fourier-transform infrared spectroscopy Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-5667 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 2.4 Mb -
Creators Горшков Егор Владимирович Scientific adviser Шахмин Александр Львович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects оксид титана; оксид кремния; взаимодействие; структура; осаждение тонких плёнок; атомно-слоевое осаждение; формирование атомного слоя; поверхность; химия поверхности; рфс; titanium oxide; silicon oxide; interaction; structure; thin film deposition; atomic layer deposition; atomic layer formation; surface; surface chemistry; xps Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4341 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.3 Mb -
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb -
Creators Юхнов Руслан Анатольевич Scientific adviser Моисеева Екатерина Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2022 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects сепарация газа; сверхгидрофобностъ; гидрофильность фторполимерные материалы; политетрафторэтилен; методы нанесения покрытий; оксид кремния; gas separation; superhydrophobicity; hydrophilicity fluoropolymer materials; polytetrafluoroethylene; coating methods; silicon oxide Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы DOI 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-3579 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.8 Mb -
Creators Оболкина Т. О.; Гольдберг М. А.; Смирнов С. В.; Антонова О. С.; Уткин Д. А.; Хайрутдинова Д. Р.; Коновалов А. А.; Кочанов Г. П.; Баринов С. М.; Комлев В. С. Imprint 2022 Collection Общая коллекция Subjects Химическая технология; Керамические изделия; керамические материалы; механические свойства керамики; микроструктура керамики; диоксид циркония; оксид алюминия; оксид кремния; марганец; ceramic material; mechanical properties ceramics; overboard microstructure ceramics; dioxide zirconia; oxide aluminium; oxide cream; marganian UDC 666.29 LBC 35.42 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.30791/0015-3214-2022-6-26-32 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50187797 -
Creators Маловичко Виктор Александрович Scientific adviser Мишин Максим Валерьевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Наноструктурные материалы; Железо, окислы; Кремний, окислы; Пленки тонкие — Получение; наночастицы; оксид железа; оксид кремния; атмосферное давление UDC 620.22-022.53(043.3); 539.23:546.28-31(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1082-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1082 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 1.0 Mb -
Creators Куликов Михаил Игоревич Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Веселова Ирина Юрьевна; Барсуков Юрий Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Кремний, нитриды; высокочастотный емкостной разряд; плазмохимическое травление; оптическая спектроскопия; нитрид кремния; оксид кремния UDC 621.794.4:539.216.2 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-3573 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb -
Creators Жуков Павел Юрьевич Scientific adviser Афанасьева Елена Владимировна; Лукьянов Валерий Дмитриевич Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects вч магнетронное распыление; оксид кремния; изоляционные слои; акустические линии задержки; rf magnetron sputtering; silicon oxide; insulation layers; acoustic delay lines Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2222-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2222-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2222 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.9 Mb
