Electronic Documents Search
Documents found: 13
-
Creators Буторин Павел Сергеевич Scientific adviser Сергеев Владимир Юрьевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Лазерная плазма; Фотолитография; EUV литография; периферическое поглощение; брэгговские зеркала; спектр излучения Xe; конверсионный коэффициент UDC 533.9:621.373.826; 776 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3839 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.6 Mb -
Creators Спешилова Анастасия Борисовна Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Фотолитография; Плазменная обработка; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы; микросистемная техника UDC 539.216.2(043.3); 621.794.6(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-17 Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение) pdf, 0.7 Mb -
Creators Есьман Даниил Дмитриевич Scientific adviser Афанасьева Елена Владимировна Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects фоторезист; фотолитография; лазерная литография; аналог фоторезиста SPR-955; photoresist; photolithography; laser lithography; analog photoresist SPR-955 Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4348 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 0.8 Mb -
Creators Никулина Екатерина Алексеевна Organization Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики; Министерство образования и науки Российской Федерации Imprint Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2015 Collection Общая коллекция Subjects Вычислительная техника; Компьютерная графика; Физика; Программирование ЭВМ. Компьютерные программы. Программотехника; Физическая оптика; графические процессоры; CUDA; двойное лучепреломление; фотолитографические системы; фотолитография; когерентность освещения; рассеяние света; рассеяние точки; поляризация UDC 004.92; 004.41/.42; 535.2/.3 LBC 32.973-018.2; 32.973-018; 22.343 Document type Article, report File type PDF Language Russian DOI 10.5862/JCSTCS.229.3 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 243 Kb -
Creators Архипенко Виктория Алексеевна Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects безмасочная литография; 3D принтер; фоторезист; фотолитография; maskless lithography; 3D printing; photoresist; photolithography Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2797 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.7 Mb -
Creators Буренина Дарья Сергеевна Scientific adviser Яковлев Юрий Павлович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects лазер; моды шепчущей галереи; полупроводниковый лазер; дисковый лазер; фотолитография Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 11.03.04 Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи Links http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-1810-o.pdf DOI 10.18720/SPBPU/2/v18-1810 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb -
Creators Терехов Д. Ю.; Пепеляев Д. В.; Якубов А. О.; Бабич А. В.; Шерченков А. А. Imprint 2022 Collection Общая коллекция Subjects Радиоэлектроника; Фотоэлектрические приборы; термоэлектрические генераторы; тонкопленочные термоэлектрические генераторы; гибкие термоэлектрические генераторы; фотолитография; тонкопленочные термоэлементы; стенды для экспонирования рисунков; электронные фотошаблоны; thermoelectric generators; thin-film thermoelectric generators; flexible thermoelectric generators; photolithography; thin-film thermoelements; stands for exhibiting drawings; electronic photo templates UDC 621.383 LBC 32.854 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-5-591-602 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=49562234 -
Creators Касумов Ю. Н.; Пухаева Н. Е.; Мовчан С. А.; Гончаров И. Н.; Урумов В. В. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Энергетика; Детали и узлы электрических аппаратов; Техника; Материаловедение; электронные умножители; газовые электронные умножители; перфорированные структуры (электроника); полиимидные пленки; фольгированные пленки; фотолитография; химическое травление; electronic multipliers; gas electronic multipliers; perforated structures (electronics); polyimide films; foil films; photolithography; chemical etching UDC 621.3; 620.1/2 LBC 31.264-04; 30.3 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-3-326-336 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011393 -
Creators Лавров И. В.; Дронова Д. А.; Силибин М. В.; Аникин А. В.; Дубков С. В.; Лебедев Е. А.; Шарипов Р. А.; Вигдорович Е. Н.; Громов Д. Г. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; дифракционные эффекты; моделирование дифракционных эффектов; фазосдвигающие слои; фотолитография; фотошаблоны; фурье-оптика; контрастность; diffraction effects; modeling of diffraction effects; phase shifting layers; photolithography; photo templates; fourier optics; contrast ratio UDC 535.31 LBC 22.342 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2024-29-6-736-751 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75220369 -
Creators Саламатова Ульяна Вячеславовна Scientific adviser Михайловский Григорий Александрович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects фотолитография; обратная сторона; установка MJB4; заземляющие отверстия; фоторезист ФП-4-04; photolitography; back side; installation MJB4; via holes; photoresist FP-4-04 Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1436-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1436-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1436 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.7 Mb
